催化燃燒工藝流程隨著廢氣提前加熱方式及富集方式，催化燃燒工藝流程分為以下三種。

一、提前加熱式，提前加熱式是催化燃燒的基本流程的方式。有機廢氣溫度在100℃以下，濃度也較低，熱能難以自我供給，所以在進入反應塔前需在提前加熱室進行加熱增溫。燃燒凈化后氣體在熱交換器內與未處理廢氣來熱交換，以回收利用部分熱能。該工藝流程常常利用液化石油氣或電加熱增溫至催化反應想要的起燃溫度。

二、自熱平衡式，當有機廢氣排放時溫度高于起燃溫度（在300℃左右）且有機物含量較高，熱交換器回收利用部分凈化氣體所生成的熱能，在常規(guī)控制下要能確保熱平衡，不必填補熱能，常常只需在催化燃燒反應塔中設定電加熱器供起燃時使用。

三、吸附一催化燃燒。當有機廢氣的量大、濃度低、溫度低，利用催化燃燒需耗許多燃料時，可先利用吸附手段將有機廢氣吸附于吸附劑上來濃縮，進而依據熱空氣吹掃，使有機廢氣脫附形成較高濃度有機廢氣，再來催化燃燒。這個時候，不需要填補熱源，就可確保常規(guī)運行。面對有機廢氣催化燃燒工藝流程圖的選擇主要地取決于：（1）燃燒過程的放熱能，即廢氣中可燃物的品類和濃度；（2）起燃溫度，即有機成分的性質及催化劑活性；（3）熱回收率等。當回收利用熱能超過提前加熱想要熱能時，可滿足自己的熱平衡運轉，不必外界填補熱源，這就是相對經濟的。

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