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新材料半導(dǎo)體廢氣處理用什么工藝好呢

文章出處:鑫藍(lán)環(huán)保鑫藍(lán)動(dòng)態(tài)網(wǎng)責(zé)任編輯:蔡作者:蔡人氣:-發(fā)表時(shí)間:2023-03-08 00:00:00【

  隨著發(fā)展,目前市場上新材料行業(yè)與傳統(tǒng)材料相比,其應(yīng)用范圍更廣了,新材料產(chǎn)業(yè)的研究與開發(fā)成本高,產(chǎn)品的附加值高在生產(chǎn)與市場性強(qiáng),而且新材料半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展前景好。而新材料半導(dǎo)體行業(yè)在加工的過程中采用清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑,這些溶劑中含有大量的有機(jī)物成分,在整個(gè)工藝加工的過程中將會(huì)有部分的有機(jī)溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放,這部分揮發(fā)的廢氣主要成分為具有揮發(fā)性的VOCs,下面鑫藍(lán)環(huán)??萍迹ɡド剑┯邢薰?/span>講解一下關(guān)于:新材料半導(dǎo)體廢氣處理。

 

新材料半導(dǎo)體行業(yè)廢氣除了含有VOCs以外,還混有HCl、氨、HF等危險(xiǎn)污染物,鑫藍(lán)環(huán)保科技(昆山)有限公司采用的是RTO焚燒爐來處理新材料半導(dǎo)體廢氣:工業(yè)廢氣中主要含有酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有D氣體四種,自身具有的溶解特性,半導(dǎo)體工業(yè)的氣體雖然排放量大,但是氣體的濃度低。

RTO設(shè)備采用的是高溫焚燒的廢氣治理技術(shù),升溫能源一般是電和天然氣,其高溫需高達(dá)700度或者以上,雖然溫度需高達(dá)700度左右,但是其實(shí)消耗的能源并不多,設(shè)備運(yùn)行期間部分的熱能是能夠回收重新利用的,降低能量消耗的同時(shí)提高了廢氣分子的燃燒反應(yīng)速率。

鑫藍(lán)環(huán)??萍迹ɡド剑┯邢薰?,專注于大型工廠廢氣處理、粉塵處理,是一家集廢氣粉塵處理系統(tǒng)設(shè)計(jì)、制造與銷售為一體的生產(chǎn)廠家。主營產(chǎn)品有RTO蓄熱焚燒RCO催化燃燒、有機(jī)廢氣處理設(shè)備、防爆除塵器、酸堿廢氣處理設(shè)備、脈沖濾筒除塵器、脈沖布袋除塵器、單機(jī)除塵器、倉頂除塵器、旋風(fēng)除塵器、噴淋塔、活性炭吸附、靜電除油設(shè)備等。

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