1.硅烷廢氣簡述
多晶硅,是單質(zhì)硅的一種形態(tài)。熔融的單質(zhì)硅在過冷條件下凝固時,硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核,如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒,則這些晶粒結(jié)合起來,就結(jié)晶成多晶硅。硅烷廢氣屬于有D、易R易B的廢氣,它對人身體健康有傷害,因此,企業(yè)在工業(yè)生產(chǎn)活動過程產(chǎn)生硅烷廢氣,為了保持良好的工作條件和防止破壞自然環(huán)境,需要對工業(yè)生產(chǎn)過程對產(chǎn)生的硅烷廢氣處理,顯得尤為重要。
2.硅烷廢氣處理工藝
硅烷廢氣具有易R易B氣體,同時又屬于弱酸性氣體,因此,對于硅烷廢氣處理可采用堿洗法、燃燒法處理即可處理,接下來鑫藍環(huán)保小編詳細介紹硅烷廢氣處理工藝。
(1)堿洗法
將集氣罩收集硅烷廢氣通過管道輸送進入堿洗塔,經(jīng)堿洗塔酸堿中和處理,達標排放。
(2)燃燒法-TO直燃爐
采用TO直燃式廢氣焚燒技術(shù),對氧化和碳化過程中產(chǎn)生的廢氣進行焚燒。該廢氣焚燒裝置在有效處理廢氣的同時,還能將焚燒產(chǎn)生的熱量進行回收利用,如通過熱交換器,將廢氣中的熱量傳遞給氧化用的新鮮空氣,節(jié)約了一定的能源。TO直燃爐由全自動點火器將噴入燃燒室的柴油點燃,所有廢氣在燃燒室里被加熱到大約850℃,有毒氣體在燃燒室里被高溫焚燒掉。由低溫和高溫碳化爐排放出的高濃度有毒廢氣直接通過噴嘴(管口)進入燃燒室。氧化爐排放出的大流量廢氣被分成兩股,一小部分被用作助燃空氣,另一部分在溫度為650℃以上的廢氣預(yù)熱器中與焚燒爐排放標準的尾氣,經(jīng)換熱器將熱量傳遞給供氧化爐使用新鮮空氣。
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